もし、ファブの乾燥ラインを運営しているのであれば、その状況はよくご存知でしょう。加熱要素や配線は、絶え間ない温度変化によってひどいダメージを受けます。本当に過酷な環境です。 問題は、わずかな絶縁不良が発生するだけで、一つのランプが壊れるだけでは済まないことです。それによって、ライン全体が停止したり...

製造工程における炭素削減：なぜ赤外線加熱が有効なのか 正直に言って、半導体製造用のクリーンルームはエネルギーの消費が非常に多い場所です。そのエネルギーのほとんどは、ウェーハが何も感じる前に空気や機械本体を温めるために無駄になってしまいます。しかし最近では、多くのエンジニアが、古くて使いづらい抵抗加...

焼成ランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう 処理量の多い工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に生産停止につながるだけでなく、シリコンウェーハの上で石英管が破裂するという恐ろしい事態も起こり得ます。一瞬前までは何も問題なかったのに、次の瞬間には至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、...

ステンレス製のヒーター筐体が問題を引き起こさないようにするために 工業用ヒーター用のステンレス製筐体を作成する際、私たちが特に気を配るのは電気的漏れです。簡単に言えば、筐体こそが高電圧の部品と機械を操作する人との間の唯一の遮断壁なのです。 絶縁体に微小な穴があったり、製造過程で残った突起があったり...

実際に重要な場所に、より多くの熱を供給すること 半導体製造工場では、エネルギーの無駄遣いは設計上の欠陥と言えます。シリコンウェーハを加熱する際には、「大量の熱」だけを得るわけではありません。ウェーハの表面に当たるすべての光子が必要です。そのため、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプと金でコーティングさ...

クォーツ製のシールドが破損してしまわないようにするためには、ファブラム内のクォーツガラス製のシールドを、高電圧のヒーター要素と機械の他の部分とを隔てる唯一の障壁だと考える必要があります。もしこれらのシールドが故障してしまったら、単に部品が壊れただけでは済まず、全体の生産ラインが停止したり、コントロ...

パッケージングラインでは、清掃後に残ったわずかな水分だけで、デルaminatingやワイヤーボンドの故障が発生し、歩留まりが悪化してしまいます。24時間365日稼働する工場では、熱変動や粒子の影響は単なる「リスク」ではなく、製造を妨げる要因となります。そのため、乾燥処理は再現性があり、清潔で迅速に...

フロアレベルでは、フォトレジストのベーク中に1℃の変動があっても「ライン幅のシフト」ではなく、多くのロットが不良になるということです。先端ノードはわずかな温度差で成否が決まるため、炉はその点を厳守しなければなりません。 技術的に重要なポイント ±0.1℃の設定温度からウェハー表面までの均一性を基準...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークは単なる「ウォームアップ」ではない。これはライン幅制御、欠陥密度、歩留まりが決まる要所である。ソフトベークやハードベーク時のホットスポットは、レジストに印刷されて残留する薄化プロファイルを生じさせる。コールドスポットは硬化不足を招き、フィルムが剥離や微細なキ...