ヒーターによってクリーンルームが台無しになるのを防ごう クラス100のクリーンルームを運用している方なら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハや医療用インプラントが使えなくなってしまいます。本当に厄介です。 そのため、重要な洗浄・乾燥工...

ファブ内では、洗浄後に時間を無駄にする余裕はありません。残留した水分は不純物の原因となり、フォトレジストの乾燥を妨げます。つまり、露光処理が始まる前からすでに歩留まりの低下が起こってしまいます。スピンドライの工程によって時間がかかり、生産効率が低下し、不要なばらつきも生じます。そこで、私たちはこの...