マットソンRTPランプの交換

ファブの現場では、熱的なドリフトは警告灯としては表れません。代わりに、歩留まりの低下や、CD値の不安定化として現れます。Mattson RTPランプは、乾燥処理やフォトレジストの焼成処理を、適切な温度範囲内で行えるように設計されています。 重要なポイント 私たちは、クォーツ製のケースを持つ短波長の...