高温環境下でウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の状況では、たった一つの故障が一日の仕事を台無しにしてしまうこともあります。赤外線ランプが壊れると、加熱が停止するだけでなく、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに飛び散ります。これは、数秒間で一括の製品が廃棄されてしまう悲惨な状況です。 私たちは、その...

なぜ対流式オーブンの代わりにIR硬化技術を使うのか？ 半導体工場で働いたことがある人なら、その状況はよく知っているでしょう。長年、私たちは巨大な対流式オーブンに頼ってきました。しかし、業界が無鉛で環境に優しい乾燥方法へと移行するにつれて、そうした古いオーブンではもはや十分ではなくなりました。 ここ...

実際には、熱的な制約というのは単なる提案ではなく、絶対に超えてはならない境界線です。酸化処理中に半度でも温度が変動したり、ある場所だけが過度に高温になったりすると、ウェーハの厚みの減少やライン幅のばらつき、歩留まりの低下といった問題がすぐに現れます。その結果、リソグラフィーの稼働時間やフォトレジス...

Introduction 想像してください：スイッチを入れると、すぐに熱が届く。待ち時間なしで即座に加熱が始まる。これが私たちの開発したものです。 産業用スペース向けの高速加熱型赤外線ヒーターで、数秒の遅れが作業リズムを乱す環境に適しています。高速の理由は、ハロゲンベースの赤外線技術にあります。ほ...