半導体リソグラフィー用オーブンランプ

リソグラフィー工程において、フォトレジストのベイク処理は単なるオプションではなく、製品の品質を左右する重要な要素です。もしベイク時の温度が安定しなかったり、均一に加熱されなかったりすると、寸法の誤差や汚れが発生し、最終的には廃棄されるワーフが増えてしまいます。オーブン内のランプがバッチ全体で均一な...