機械を加熱するのではなく、基板上に直接熱を与えましょう もしカーボンナノチューブ（CNT）の加工を経験したことがある人なら、熱管理の難しさを知っているはずです。多くの人々は、すべてを通常のオーブンで加熱しようとしますが、それはまるで、キッチン全体を温めることでピザ1枚だけを温めようとするようなもの...

バイオセンサーの製造において、適切な温度を維持することは非常に重要です。バイオセンサーを作る際には熱が必要ですが、たとえわずかでも温度を間違えると、基板が変形したり、繊細な化学層が壊れてしまったりします。一度そうなってしまうと、修正するのは非常に困難です。 そのため、私たちは短波赤外線を利用してい...

水素センサーを製造する際には、温度を正確にコントロールする必要があります。推測など許されません。私たちは、その厳しい精度を維持できるヒーターを製造していますが、本当の課題は、電気漏れが全くないようにすることです。 正直に言って、わずかな絶縁不良でも、センサー全体がダメになってしまったり、最悪の場合...

ウェーハを扱う際、バイオセンサーの製造ではわずかな誤差も許されません。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクにおいては、適切な温度管理が不可欠です。たとえ数度でも目標温度から外れてしまうと、マイクロ流体チャネルやセンシング層の寸法精度が急速に悪化してしまいます。赤外線加熱も有効ですが、その場合...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークは単なる「ウォームアップ」ではない。これはライン幅制御、欠陥密度、歩留まりが決まる要所である。ソフトベークやハードベーク時のホットスポットは、レジストに印刷されて残留する薄化プロファイルを生じさせる。コールドスポットは硬化不足を招き、フィルムが剥離や微細なキ...