ウェーハ加熱時の安全距離

高温環境下でウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の状況では、たった一つの故障が一日の仕事を台無しにしてしまうこともあります。赤外線ランプが壊れると、加熱が停止するだけでなく、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに飛び散ります。これは、数秒間で一括の製品が廃棄されてしまう悲惨な状況です。 私たちは、その...