ウェーハを温め続けるために：IRヒーターの真実 もし、現代の半導体製造工場を運営しているのであれば、その重要性はご存知でしょう。ウェーハが移動している間も、その温度を安定させておくことは不可欠です。しかし、クリーンルーム内でそれを実現するのはかなり厄介です。 そこで、私たちは赤外線（IR）方式のヒ...

なぜクリーンルームではオーブンの代わりにIRランプを使うのか？ もしまだ半導体の乾燥や硬化にその大きな対流式オーブンを使っているなら、その不便さはご存知でしょう。速度が遅く、体積も大きく、電力も大量に消費します。私たちはIR（赤外線）ランプを使う方向に移行しています。正直、これの方がずっと合理的で...

ウェーハオーブンでの熱の無駄遣いを止めましょう。 クリーンルームにおいて、エネルギーの無駄遣いは単に電気代の問題だけではありません。それは大きな悩みの種です。 シリコンウェーハを加熱する際、ターゲットに当たらない熱は単に失われてしまいます。しかし、その熱は完全に消えるわけではありません。部屋の中を...

製造工程における炭素削減：なぜ赤外線加熱が有効なのか 正直に言って、半導体製造用のクリーンルームはエネルギーの消費が非常に多い場所です。そのエネルギーのほとんどは、ウェーハが何も感じる前に空気や機械本体を温めるために無駄になってしまいます。しかし最近では、多くのエンジニアが、古くて使いづらい抵抗加...