UHP 超高純度 ヒーターランプ

加熱が限界に達したときのウェーハ汚染を防ぐ方法 半導体製造工場では、ランプが破損すると、単なるトラブルや短時間の停止にとどまらず、大きな問題となります。重負荷がかかって石英管が壊れると、単に機能しなくなるだけでなく、破片や微粒子がウェーハに飛び散ってしまいます。 私たちは、このような事態を防ぐため...