ウェーハオーブンでの熱の無駄遣いを止めましょう。 クリーンルームにおいて、エネルギーの無駄遣いは単に電気代の問題だけではありません。それは大きな悩みの種です。 シリコンウェーハを加熱する際、ターゲットに当たらない熱は単に失われてしまいます。しかし、その熱は完全に消えるわけではありません。部屋の中を...

リソグラフィー工程において、フォトレジストのベイク処理は単なるオプションではなく、製品の品質を左右する重要な要素です。もしベイク時の温度が安定しなかったり、均一に加熱されなかったりすると、寸法の誤差や汚れが発生し、最終的には廃棄されるワーフが増えてしまいます。オーブン内のランプがバッチ全体で均一な...