グローブボックス内での熱損失を止めましょう。 もし、これまでにグローブボックス内でシリコンウェーハを加熱したことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。通常のクォーツランプは、熱をあらゆる方向に放出します。その結果、エネルギーの半分が無駄になり、ウェーハではなく、ボックスの外壁や内部が温められてしま...

なぜ赤外線ヒーターが頻繁に壊れるのか（そして、実際にどうすれば修理できるのか） ヒーターの交換用部品について、少し秘密をお教えしましょう。実際には、ほとんどの場合、フィラメント自体には問題ありません。本当の原因というのは、電線が石英やセラミック製のチューブに接続されるその部分です。もしその接続部が...

実際には、熱的な制約というのは単なる提案ではなく、絶対に超えてはならない境界線です。酸化処理中に半度でも温度が変動したり、ある場所だけが過度に高温になったりすると、ウェーハの厚みの減少やライン幅のばらつき、歩留まりの低下といった問題がすぐに現れます。その結果、リソグラフィーの稼働時間やフォトレジス...