ファブ内では、洗浄後に時間を無駄にする余裕はありません。残留した水分は不純物の原因となり、フォトレジストの乾燥を妨げます。つまり、露光処理が始まる前からすでに歩留まりの低下が起こってしまいます。スピンドライの工程によって時間がかかり、生産効率が低下し、不要なばらつきも生じます。そこで、私たちはこの...

Introduction 想像してください：スイッチを入れると、すぐに熱が届く。待ち時間なしで即座に加熱が始まる。これが私たちの開発したものです。 産業用スペース向けの高速加熱型赤外線ヒーターで、数秒の遅れが作業リズムを乱す環境に適しています。高速の理由は、ハロゲンベースの赤外線技術にあります。ほ...