クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
なぜクリーンルームではオーブンの代わりにIRランプを使うのか？
もしまだ半導体の乾燥や硬化にその大きな対流式オーブンを使っているなら、その不便さはご存知でしょう。速度が遅く、体積も大きく、電力も大量に消費します。私たちはIR（赤外線）ランプを使う方向に移行しています。正直、これの方がずっと合理的で...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
バイオセンサーの製造において、適切な温度を維持することは非常に重要です。バイオセンサーを作る際には熱が必要ですが、たとえわずかでも温度を間違えると、基板が変形したり、繊細な化学層が壊れてしまったりします。一度そうなってしまうと、修正するのは非常に困難です。
そのため、私たちは短波赤外線を利用してい...
オゾンフリー赤外線ランプ
化学処理ラインでのスパークの心配はやめましょう。
正直に言って、通常の赤外線ランプを化学処理ラインに設置するのは、まるで火遊びのようなものです。爆発しやすく、光を受けると反応しやすい溶剤を扱っているときには、わずかなスパークやオゾンだけで、普通の作業日が悪夢に変わってしまいます。
そのため、私たち...
洗浄用防水赤外線ランプ
ヒーターによってクリーンルームが台無しになるのを防ごう クラス100のクリーンルームを運用している方なら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハや医療用インプラントが使えなくなってしまいます。本当に厄介です。
そのため、重要な洗浄・乾燥工...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
ウェーハの硬化処理を正しく行うためには、反射器が鍵となります。
ウェーハの硬化処理を行っている人なら、その苦労はよくわかるでしょう。適切な温度勾配を実現するためには、短波長の赤外線ランプと、非常に特殊な反射器を組み合わせる必要があります。
実際、現代のファブでは、データ駆動型の加熱方式が重視されて...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
ゴールドコーティングされたツインチューブランプの正しい取り扱い法 もしあなたがゴールドコーティングされたツインチューブランプを使用しているのであれば、このランプが赤外線加熱において非常に優れていることはご存知でしょう。二重フィラメント構造により、狭いスペース内に大量の熱が生み出されます。そして、そ...
認定済みの赤外線硬化ランプ製造元
焼成ランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう 処理量の多い工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に生産停止につながるだけでなく、シリコンウェーハの上で石英管が破裂するという恐ろしい事態も起こり得ます。一瞬前までは何も問題なかったのに、次の瞬間には至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、...
UHP 超高純度 ヒーターランプ
加熱が限界に達したときのウェーハ汚染を防ぐ方法
半導体製造工場では、ランプが破損すると、単なるトラブルや短時間の停止にとどまらず、大きな問題となります。重負荷がかかって石英管が壊れると、単に機能しなくなるだけでなく、破片や微粒子がウェーハに飛び散ってしまいます。
私たちは、このような事態を防ぐため...
カーボンファイバー赤外線ランプ工場
実際に重要な場所に、より多くの熱を供給すること
半導体製造工場では、エネルギーの無駄遣いは設計上の欠陥と言えます。シリコンウェーハを加熱する際には、「大量の熱」だけを得るわけではありません。ウェーハの表面に当たるすべての光子が必要です。そのため、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプと金でコーティングさ...
IRランプ用アルミニウム反射板
実際に重要な場所に、より多くの熱を届けることができます。
半導体製造工場で炭素排出量を減らしたいのであれば、熱がどこに行ってしまっているかを考える必要があります。多くの場合、その熱は単に消えてしまいます。機械の筐体に当たり、部屋を温めてしまい、結局は無駄になってしまうのです。
そこで役立つのがアル...
ファブレーザー用クォーツガラスシールド
クォーツ製のシールドが破損してしまわないようにするためには、ファブラム内のクォーツガラス製のシールドを、高電圧のヒーター要素と機械の他の部分とを隔てる唯一の障壁だと考える必要があります。もしこれらのシールドが故障してしまったら、単に部品が壊れただけでは済まず、全体の生産ラインが停止したり、コントロ...
半導体用金コーティング赤外線ランプ
ゴールドコーティングされた赤外線ランプ：厳しい状況下でもウェーハを清潔に保つ
半導体製造工場では、ウェーハが最も重要なものです。わずかな故障だけで、順調に進んでいた生産が台無しになってしまいます。一般的な赤外線ランプは過度な負荷によって破損してしまい、そうなると生産ラインが停止するだけでなく、高価...
安価なウェーハ乾燥用ランプの電球
ウェーハ乾燥用の赤外線ランプ：高性能でありながら、高価ではない
私たちが開発したこのウェーハ乾燥用赤外線ランプは、これまで使用してきた高価な輸入品のシンプルな代替品です。有名ブランド製品に匹敵する性能を持ちながら、高額な価格はかかりません。つまり、生産ラインでのコストを削減しつつも、品質を維持でき...
半導体リソグラフィー用オーブンランプ
リソグラフィー工程において、フォトレジストのベイク処理は単なるオプションではなく、製品の品質を左右する重要な要素です。もしベイク時の温度が安定しなかったり、均一に加熱されなかったりすると、寸法の誤差や汚れが発生し、最終的には廃棄されるワーフが増えてしまいます。オーブン内のランプがバッチ全体で均一な...
マットソンRTPランプの交換
ファブの現場では、熱的なドリフトは警告灯としては表れません。代わりに、歩留まりの低下や、CD値の不安定化として現れます。Mattson RTPランプは、乾燥処理やフォトレジストの焼成処理を、適切な温度範囲内で行えるように設計されています。
重要なポイント 私たちは、クォーツ製のケースを持つ短波長の...
ニコンステッパーランプの交換
ファブの現場では、そのステッパーランプは単にレティクルを照らすだけでなく、各露光処理における熱的な基準値を設定する役割も果たします。もしランプの出力が変動してしまうと、バーク処理のパラメータもそれに合わせて変わってしまいます。その結果、ソフトバークやハードバークの均一性が失われ、CD制御も乱れてし...
IC用短波赤外線ランプ
製造現場では、12インチのウェーハが置かれており、フォトレジストの加熱処理を待っている。ここで重要なのは、表面の温度が1℃でも変動すると、線幅の制御や歩留まりに悪影響を与えるということです。必要なのは、素早く熱を与え、それを定着させつつ、粒子を一切発生させないような加熱方法です。
技術的に重要な点...
RTPシステム用ハロゲンランプ
実際の現場において、熱ドリフトというのは単なる実験室での現象ではありません。それは重大な問題です。RTPを使用する際、ハロゲンランプは、プロセス中に粒子を発生させたり、ばらつきを引き起こしたりすることなく、安定した熱を迅速に供給しなければなりません。
本当に重要なのは何か 私たちは、高純度のハロゲ...
バイオセンサーの製造に用いられる赤外線ランプ
ウェーハを扱う際、バイオセンサーの製造ではわずかな誤差も許されません。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクにおいては、適切な温度管理が不可欠です。たとえ数度でも目標温度から外れてしまうと、マイクロ流体チャネルやセンシング層の寸法精度が急速に悪化してしまいます。赤外線加熱も有効ですが、その場合...
洗浄ランプ後の速乾ウェーハ
ファブ内では、洗浄後に時間を無駄にする余裕はありません。残留した水分は不純物の原因となり、フォトレジストの乾燥を妨げます。つまり、露光処理が始まる前からすでに歩留まりの低下が起こってしまいます。スピンドライの工程によって時間がかかり、生産効率が低下し、不要なばらつきも生じます。そこで、私たちはこの...