ウェーハ硬化ランプ用反射板

ウェーハの硬化処理を正しく行うためには、反射器が鍵となります。 ウェーハの硬化処理を行っている人なら、その苦労はよくわかるでしょう。適切な温度勾配を実現するためには、短波長の赤外線ランプと、非常に特殊な反射器を組み合わせる必要があります。 実際、現代のファブでは、データ駆動型の加熱方式が重視されて...