なぜ赤外線ヒーターが頻繁に壊れるのか（そして、実際にどうすれば修理できるのか） ヒーターの交換用部品について、少し秘密をお教えしましょう。実際には、ほとんどの場合、フィラメント自体には問題ありません。本当の原因というのは、電線が石英やセラミック製のチューブに接続されるその部分です。もしその接続部が...

ファブの現場では、熱的なドリフトは警告灯としては表れません。代わりに、歩留まりの低下や、CD値の不安定化として現れます。Mattson RTPランプは、乾燥処理やフォトレジストの焼成処理を、適切な温度範囲内で行えるように設計されています。 重要なポイント 私たちは、クォーツ製のケースを持つ短波長の...

ファブの現場では、そのステッパーランプは単にレティクルを照らすだけでなく、各露光処理における熱的な基準値を設定する役割も果たします。もしランプの出力が変動してしまうと、バーク処理のパラメータもそれに合わせて変わってしまいます。その結果、ソフトバークやハードバークの均一性が失われ、CD制御も乱れてし...