ウェーハ用高精度IRセンサー

IRランプが壊れると、全てが台無しになってしまいます。半導体製造の現場では、IRランプの故障は単なる「技術的な不具合」や一時的な停止に過ぎません。それはまさに悪夢です。高負荷の状態で石英製のケースが壊れてしまうと、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに直接降り注ぎます。そうなると、そのロット全体が...