バスルームのヒーターを危険なものにしないために バスルームに赤外線ランプを設置するのは良いアイデアのように思えますが、実際にはバスルームというのは蒸気室のような場所です。常に高湿度があり、至る所に水滴があるため、電気的には大変な状況です。 安全を守りたいのであれば、安価なプラスチック製のカバーだけ...

加熱が限界に達したときのウェーハ汚染を防ぐ方法 半導体製造工場では、ランプが破損すると、単なるトラブルや短時間の停止にとどまらず、大きな問題となります。重負荷がかかって石英管が壊れると、単に機能しなくなるだけでなく、破片や微粒子がウェーハに飛び散ってしまいます。 私たちは、このような事態を防ぐため...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちが高天井用の赤外線ヒーターを開発したのには、単純な理由があります。それは、湿気の多い厳しい環境でも問題なく動作しなければならないからです。これは単なる流行に乗るためではありません。現代のバスルームのリノベーションを行う人々が直面する実際の課題を解決するた...

フロアレベルでは、フォトレジストのベーク中に1℃の変動があっても「ライン幅のシフト」ではなく、多くのロットが不良になるということです。先端ノードはわずかな温度差で成否が決まるため、炉はその点を厳守しなければなりません。 技術的に重要なポイント ±0.1℃の設定温度からウェハー表面までの均一性を基準...