半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーハを温め続けるために：IRヒーターの真実 もし、現代の半導体製造工場を運営しているのであれば、その重要性はご存知でしょう。ウェーハが移動している間も、その温度を安定させておくことは不可欠です。しかし、クリーンルーム内でそれを実現するのはかなり厄介です。 そこで、私たちは赤外線（IR）方式のヒ...