ファブ乾燥用のエネルギー診断
もし、ファブの乾燥ラインを運営しているのであれば、その状況はよくご存知でしょう。加熱要素や配線は、絶え間ない温度変化によってひどいダメージを受けます。本当に過酷な環境です。
問題は、わずかな絶縁不良が発生するだけで、一つのランプが壊れるだけでは済まないことです。それによって、ライン全体が停止したり...
省エネ型半導体ヒーター
なぜ対流式オーブンの代わりにIR硬化技術を使うのか? 半導体工場で働いたことがある人なら、その状況はよく知っているでしょう。長年、私たちは巨大な対流式オーブンに頼ってきました。しかし、業界が無鉛で環境に優しい乾燥方法へと移行するにつれて、そうした古いオーブンではもはや十分ではなくなりました。 ここ...
省エネ型ウェーハヒーター
なぜ、無鉛チップの製造に赤外線硬化技術を採用するのか
半導体の製造方法が変わりつつあります。私たちは、従来の溶剤を使った乾燥方法や鉛を含む材料から離れていきています。つまり、赤外線硬化技術を積極的に活用することになります。
大きな違いは何かというと、赤外線はウェハーの表面に直接当たります。対流式オ...