用于晶圆的精密红外传感器

当红外灯发生故障时，一切都会变得一团糟。在半导体制造厂里，红外灯的故障不仅仅是个“技术问题”或短暂的停机时间而已——那简直就是一场灾难。想象一下，如果石英封装在高负荷运行过程中出现破裂，玻璃碎片和卤素气体就会直接溅到晶圆上。这样一来，整批晶圆就都报废了。这不仅会造成混乱，还会带来巨大的经济损失。...