半导体光刻烘箱灯

在光刻工艺中，光阻烘烤并非可选项，而是一项至关重要的步骤。如果烘烤温度无法保持稳定，或者烘烤过程不均匀，那么就会导致晶圆出现尺寸误差、表面有杂质，最终这些晶圆只能被当作废品处理。当烤箱内的光源无法实现均匀的温度控制时，整个工艺流程就会受到严重影响。 关键点在于： 我们为光刻烤箱配备了短波卤素灯以及...