可持续晶圆制造解决方案

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤绝不仅仅是“预热”。它是关键环节——决定线宽控制、缺陷密度和良率的节点。软烘烤或硬烘烤过程中的热点会导致薄化轮廓，这种缺陷会印到光刻胶中并持续存在。冷点会导致固化不足，薄膜容易被剥离和产生微划伤。当热均匀性出现偏差时，不会只得到一片不良晶圆作为警告，而是数百个边缘器件在数小...