晶圆加热的安全距离

在高温环境下保持晶圆清洁 在大规模生产中，哪怕出现一次故障，都可能毁掉一整天的工作成果。如果红外灯管发生破裂，不仅会停止加热功能，还会让石英碎片和卤素气体溅到硅晶圆上。这种情况简直就是一场灾难，几秒钟之内就能毁掉整批产品。 我们特意设计红外加热系统，就是为了避免这种状况发生，保护产品不受损害。 距...