在高温环境下保持晶圆清洁
在大规模生产中，哪怕出现一次故障，都可能毁掉一整天的工作成果。如果红外灯管发生破裂，不仅会停止加热功能，还会让石英碎片和卤素气体溅到硅晶圆上。这种情况简直就是一场灾难，几秒钟之内就能毁掉整批产品。
我们特意设计红外加热系统，就是为了避免这种状况发生，保护产品不受损害。
距离的平衡之道
虽然人们希望将灯具尽可能靠近被加热的基板，从而提升加热效果，但这样做存在风险。距离越近，灯具发生故障时，碎片就越有可能直接击中晶圆。因此，我们采用了经过计算的安全间距，这样才能在保证足够的热传递效果的同时，为晶圆提供必要的保护。如果灯管破裂，缓冲装置会承受碎片的冲击，从而保护晶圆不受损坏。
增加防护层
高负荷会对设备造成很大压力。为了防止设备因过热而损坏，我们不会仅仅依赖运气，而是会采取额外的防护措施。我们会使用高纯度的石英屏障或防护框架来保护晶圆。这就好比一张安全网——即使内部组件发生故障，屏障也能挡住玻璃碎片。这样，晶圆依然能够得到适当的加热，而不会受到损坏。
应对应力问题
高功率的灯具在反复工作过程中会不断膨胀和收缩，最终会导致其疲劳失效。为了解决这个问题，我们使用了加强型的端盖，并通过精确的电压控制来消除热点现象。不过，冷却系统也必须能够胜任这项任务。如果外壳温度过高，那么防护装置就会失去作用，这时情况就会变得危险。此外，我们还尽量简化了灯具的结构。一旦灯管损坏，只需更换新的灯管即可，无需花费数小时来重新调整安全间距或调整定位。