用于光刻机的石英玻璃护盾

确保石英防护罩不会引发故障 可以将制造设备中的石英玻璃防护罩视为高压加热元件与设备其他部分之间的唯一屏障。如果这些防护罩出现故障，那么不仅会导致相关部件损坏，还可能引发短路，进而使整个生产线瘫痪或毁坏控制器。 正因如此，我们并不把它们仅仅看作是用于传递热量的“窗口”，而是将其视为至关重要的电气绝缘...