别让加热器毁掉你的洁净室 如果你正在运营100级洁净室，那你肯定了解颗粒物带来的麻烦。哪怕只有一小片碎屑或廉价加热元件释放出的微量气体，都可能让你的晶圆或医疗植入物变报废。这真让人头疼。 正因如此，我们在关键的冲洗和干燥阶段使用高纯度的合成石英红外线灯。 **秘诀就在于石英材料本身。**我们使用的...

在晶圆制造车间里，冲洗之后可不能浪费时间等待。残留的水分会引发现象，还会导致光刻胶无法正常附着在晶圆表面。这样一来，甚至在光刻开始之前，就会造成产量下降的问题。旋转干燥过程会消耗大量时间，降低生产效率，还会带来不必要的不确定性。我们设计了快速干燥的晶圆处理装置，从而缩短处理时间，同时保持晶圆表面的...