为何我们选择红外固化技术来处理无铅半成品 在干燥MEMS传感器芯片时，会面临一个棘手的问题：必须彻底去除所有的水分和溶剂，同时又不能留下任何残留物。当然，也不能让芯片承受过高的热量，否则整个芯片就会损坏。 因此，我们选择使用红外固化技术。与传统的加热方式不同，红外技术可以直接将能量传递到芯片表面，...

在石英基底上，晶圆经过冲洗后便进入干燥阶段。只要有一个温度异常点或温度波动，光刻胶的图案就可能会变形。为此，我们设计了专门的MEMS晶圆干燥加热器，以避免这种情况发生——因为在制造业中，是不能有例外情况的。 核心设计要点 我们使用石英-卤素发射器来产生短波红外辐射。这种方式能够实现快速、精准的加热...