手套箱红外加热元件
停止让热量在手套箱内白白浪费 如果您曾经在手套箱内对硅片进行加热处理,那您一定知道其中的麻烦。普通的石英灯会将热量向各个方向散发,其中一半的能量被浪费掉了,用来加热手套箱的壳体或墙壁,而非硅片本身。这不仅浪费了能源,还会给您的实验流程带来困扰。
我们通过添加镀金反射器来解决这个问题。这样,热量就不...
IP65等级的替换加热元件
为什么您的红外线加热器会不断损坏?以及如何解决这个问题 关于更换加热元件这件事,有个小秘密:其实大多数情况下,加热元件的绝缘丝并没有真正“烧坏”。问题出在电线与石英或陶瓷管相连的那个接口处。如果这个接口的密封性不好,那么湿气和小污垢就有可能进入内部,从而破坏整个加热器。
“廉价”密封材料的弊端 很...
晶圆氧化加热元件
在制造过程中,温度控制并非可选项,而是一条不可逾越的界限。如果在氧化过程中温度出现半度的偏差,或者炉子中某一部分过热而另一部分过冷,那么很快就会导致芯片厚度变化、线宽偏差以及成品率下降等问题。这些问题的后果就是生产中断,同时还会增加光刻胶材料的消耗。因此,需要一种能够精确控制温度的加热元件,即便在...