在工厂车间，光刻胶烘烤过程中1°C的温度波动绝不是“线宽偏移”，而是大量废品。先进工艺节点的成败取决于温度的微小分度，炉体必须严格满足这一要求，毫无例外。 技术关键点 我们设计的高温炉实现了±0.1°C的设定点到晶圆温度均匀性，并且在整个烘烤曲线中保持稳定——从软烘烤到硬烘烤。热区无石英材质，低挥...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤绝不仅仅是“预热”。它是关键环节——决定线宽控制、缺陷密度和良率的节点。软烘烤或硬烘烤过程中的热点会导致薄化轮廓，这种缺陷会印到光刻胶中并持续存在。冷点会导致固化不足，薄膜容易被剥离和产生微划伤。当热均匀性出现偏差时，不会只得到一片不良晶圆作为警告，而是数百个边缘器件在数小...