停止在晶圆炉中浪费热量 在洁净室里，能源的浪费不仅仅意味着更高的电费问题，更会带来诸多麻烦。 在加热硅晶圆时，所有没有被有效利用的热量都会白白流失。不过，这些热量并不会真的消失，而是会在周围反弹，从而影响炉子的结构，或是触发冷却系统的警报，进而导致整个生产流程中断。 为了解决这个问题，我们在红外线...

在光刻工艺中，光阻烘烤并非可选项，而是一项至关重要的步骤。如果烘烤温度无法保持稳定，或者烘烤过程不均匀，那么就会导致晶圆出现尺寸误差、表面有杂质，最终这些晶圆只能被当作废品处理。当烤箱内的光源无法实现均匀的温度控制时，整个工艺流程就会受到严重影响。 关键点在于： 我们为光刻烤箱配备了短波卤素灯以及...