停止在晶圆炉中浪费热量
在洁净室里，能源的浪费不仅仅意味着更高的电费问题，更会带来诸多麻烦。
在加热硅晶圆时，所有没有被有效利用的热量都会白白流失。不过，这些热量并不会真的消失，而是会在周围反弹，从而影响炉子的结构，或是触发冷却系统的警报，进而导致整个生产流程中断。
为了解决这个问题，我们在红外线加热器上采用了高反射率的黄金涂层。
为什么选择黄金？
大多数人会使用铝制反射器，但铝会吸收相当一部分红外能量，因此效率较低。而黄金则完全不同——它能够像镜子一样反射红外光。这样，光子就不会四处散射，而是直接照射到晶圆上。这样一来，每瓦特电能所能产生的热量就会大大增加。这意味着无需提高电压或更换更强的灯泡，就能达到所需的温度。这显然是一种更高效的解决方案。
需要注意的问题及解决方法
不过，使用黄金也有一些缺点。虽然黄金能让加热器保持较小的尺寸，同时保持较高的热量密度，但这些表面非常脆弱。如果洁净室内的灰尘或化学物质附着在黄金涂层上，其反射性能就会下降。
务必避免使用具有腐蚀性的化学物质来清洁这些表面，否则会导致涂层脱落。此外，灯管的定位也很重要。如果灯管的位置偏差几毫米，其聚焦效果就会受到影响。因此，必须确保灯管的安装位置非常牢固，不能有任何晃动。
这带来的好处
通过精确控制热量的分布，晶圆可以更快达到目标温度。这样一来，生产流程的速度就会加快。另外，由于进入炉腔的热量减少，冷却风扇也不必持续高负荷运转，从而降低了噪音。整体而言，整个系统运作得更高效、更安静。