RTP系统用卤素灯

在实际应用中，热漂移并非什么实验室里才会出现的问题——它其实会严重影响生产流程的稳定性。在运行RTP工艺时，卤素灯必须能够持续提供稳定的热量，同时不能产生任何颗粒物，也不能给工艺带来额外的不确定性。 真正重要的因素是什么？ 我们设计的灯泡具有高纯度的卤素灯丝，这些灯丝被包裹在石英外壳中，从而能够快...