Mattson RTP灯管更换

在制造车间里，温度漂移不会以警示灯的形式表现出来。它表现为成品率的下降，以及光刻胶厚度控制的异常。Mattson品牌的RTP灯经过特殊设计，能够确保晶圆在烘干和光刻胶固化过程中的温度始终处于理想范围内。 关键在于内部结构 我们使用的是带有石英外壳的短波红外卤素灯，这种灯具有快速升温且温度稳定的特点...