为什么您的红外线加热器会不断损坏？以及如何解决这个问题 关于更换加热元件这件事，有个小秘密：其实大多数情况下，加热元件的绝缘丝并没有真正“烧坏”。问题出在电线与石英或陶瓷管相连的那个接口处。如果这个接口的密封性不好，那么湿气和小污垢就有可能进入内部，从而破坏整个加热器。 “廉价”密封材料的弊端 很...

在制造车间里，温度漂移不会以警示灯的形式表现出来。它表现为成品率的下降，以及光刻胶厚度控制的异常。Mattson品牌的RTP灯经过特殊设计，能够确保晶圆在烘干和光刻胶固化过程中的温度始终处于理想范围内。 关键在于内部结构 我们使用的是带有石英外壳的短波红外卤素灯，这种灯具有快速升温且温度稳定的特点...

在光刻车间里，那盏步进灯的作用可不仅仅是照明而已——它还决定了每次曝光时的温度基准。如果灯光的输出出现波动，那么后续的烘烤过程也会受到影响。这样一来，软烘和硬烘过程的均匀性就会下降，CD控制的精度也会随之降低。这种问题不会出现在新闻报道中，但会在生产线上显现出来。 从技术层面来看，什么才是关键？...