尼康步进灯更换

在光刻车间里，那盏步进灯的作用可不仅仅是照明而已——它还决定了每次曝光时的温度基准。如果灯光的输出出现波动，那么后续的烘烤过程也会受到影响。这样一来，软烘和硬烘过程的均匀性就会下降，CD控制的精度也会随之降低。这种问题不会出现在新闻报道中，但会在生产线上显现出来。 从技术层面来看，什么才是关键？...