晶圆加工设备用温度传感器

停止凭猜测来判断晶圆温度 如果你正在打造一家智能工厂，那就必须摒弃传统的接触式热电偶。因为它们已经不再适用了。对于晶圆加工来说，我们采用了高速红外传感器。这样就能在不接触晶圆的情况下获取实时的温度数据。 如果你希望数字模型能够准确反映现实世界中的情况，那就需要持续获取高频数据。而非接触式传感才是实...