ヒーターによってクリーンルームが台無しになるのを防ごう
クラス100のクリーンルームを運用している方なら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハや医療用インプラントが使えなくなってしまいます。本当に厄介です。
そのため、重要な洗浄・乾燥工程では高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。
秘密は石英にあります。
私たちは不純物がほとんど含まれていない融解石英を使用しています。なぜかというと、ランプが繰り返し加熱されたり冷却されたりする際に、微細な破片が発生しないからです。普通のガラスでは、急激な温度変化に耐えられずに割れてしまいます。
さらに、石英の外殻は完全に防水処理が施されているため、湿気や化学物質のある場所でも問題なく使用できます。ショート回路の心配もありません。
適切な熱量を得る
これらのランプは、集中した短波長の赤外線エネルギーを放出します。これにより、チャンバー全体をオーブンのようにしなくても、表面を素早く乾燥させることができます。
ワット数や電圧を調整することで、基板に必要な正確な熱密度を得ることができます。ただし、注意が必要です。高出力のランプは非常に高温になります。冷却ファンや筐体の素材が十分でないと、機械の枠が歪んでしまう可能性があります。
設置と維持管理
サイズを小さくして、狭いスペースにも収まるようにしています。また、シールもしっかりしているため、ハロゲンガスは内部に留まり、汚れは外部に残ります。
一つアドバイス：電源をしっかり確認してください。電圧がランプの規格に合っている必要があります。過剰な電圧をかけると、数時間以内にフィラメントが壊れてしまいます。火曜日を楽しく過ごすためにも、注意してください。
最良な点は、これらのランプはほとんどの洗浄・乾燥システムに直接交換可能だということです。可動部品がなく、製品に触れる部分もないため、機械的な汚染の心配もありません。
お願いですが、設置時には絶対に素手で石英管に触れないでください。指紋の油分が熱源となり、ランプが壊れる原因になります。