ウェーハの硬化処理を正しく行うためには、反射器が鍵となります。
ウェーハの硬化処理を行っている人なら、その苦労はよくわかるでしょう。適切な温度勾配を実現するためには、短波長の赤外線ランプと、非常に特殊な反射器を組み合わせる必要があります。
実際、現代のファブでは、データ駆動型の加熱方式が重視されています。しかし、もしエネルギーがあちこちに散乱してしまうようであれば、それは意味のないことです。
エネルギーの無駄遣いを止めよう
反射器は、光を集中させるための道具です。反射器がなければ、赤外線の大部分が機械の筐体の中に消えてしまいます。これは単なるエネルギーの無駄です。
光をウェーハに直接当てることで、重要な場所により高い熱密度を得ることができます。最良な点は、ランプのワット数を減らしても、依然として所定の硬化速度を維持できることです。つまり、より効率的です。
もちろん、コーティングも完璧でなければなりません。通常は、短波長の赤外線に対して最も優れた性能を発揮する金やアルミニウムを使用します。しかし、コーティングが剥がれたり酸化したりしないように注意が必要です。そうなると、温度の均一性が失われてしまいます。
スペースを確保しよう
誰もが、より小さなサイズで、より良いデータを得たいと思っています。反射器がうまく機能すれば、同じ作業を行うために必要なランプの数を減らすことができます。
そうすることで、センサーやPLCの配線に必要なスペースが確保されます。また、チャンバ全体が過熱しないため、冷却システムも安定を保つのに苦労しません。
ただし、注意点があります。光の強度が高くなると、ホットスポットが発生するリスクが高くなります。PIDコントローラーを適切に調整して、迅速な温度変化に対応できるようにする必要があります。もし反射器の形状が不適切だと、センサーが問題を検知する前にウェーハが破損してしまいます。
生産ラインを止めないように
私たちは、これらの反射器を簡単に交換できるように設計しました。
やがて、どの反射器も輝きを失ってしまいます。それは、ガスの放出や汚染が原因です。その時は、単純に交換すればいいのです。全体の加熱装置を再調整する必要はありません。
ただし、位置合わせを正確にすることが大切です。そうすれば、デジタルツインで見る情報が、実際にフロアで起きていることと一致するのです。