実際に重要な場所に、より多くの熱を供給すること
半導体製造工場では、エネルギーの無駄遣いは設計上の欠陥と言えます。シリコンウェーハを加熱する際には、「大量の熱」だけを得るわけではありません。ウェーハの表面に当たるすべての光子が必要です。そのため、私たちは炭素繊維製の赤外線ランプと金でコーティングされた反射器を組み合わせています。これにより、エネルギーが空中に逃げてしまうのを防ぐのです。
金について言えば、多くの人々はアルミニウム製の反射器を使いますが、アルミニウムはエネルギーを過剰に吸収してしまいます。一方、金は異なります。赤外線を効率的に反射するのです。ランプの外装に金を使うことで、本来間違った方向に行ってしまうはずの放射能を、再び目標方向に向けることができます。
まるでチートコードのようです。電源から余分な電力を消費することなく、熱の流れを2倍にすることができるのです。
また、炭素繊維も使用します。急速な温度変化に耐えられるからです。従来のタングステンコイルよりもはるかに速く温度が上昇します。この速さによって、ウェーハが歪むのを防ぐことができます。
ただし注意点もあります。出力密度を高くすると、冷却システムもそれに追いつかなければなりません。もし熱交換器がその高い温度に対応できなければ、温度制御がうまくいかなくなります。
これらの装置の取り付けは非常に簡単です。既存の装置に直接取り替えることができるので、狭い製造現場でも問題なく設置できます。
接続する際のヒントをいくつか：
まず、コントローラーが炭素繊維の特性に対応できるかをしっかり確認してください。
次に、最も重要なのは正確な位置合わせです。金製の反射器は、正確に位置している場合にしか機能しません。ランプが数ミリメートルでもずれていると、ウェーハに不均一な熱分布が生じてしまいます。焦点距離もしっかり確認してください。それが全てを決定づけます。