実際の現場において、熱ドリフトというのは単なる実験室での現象ではありません。それは重大な問題です。RTPを使用する際、ハロゲンランプは、プロセス中に粒子を発生させたり、ばらつきを引き起こしたりすることなく、安定した熱を迅速に供給しなければなりません。
本当に重要なのは何か 私たちは、高純度のハロゲンフィラメントを石英製のケースの中に収めてランプを作っています。これにより、短波長のエネルギーが効率的に伝達され、温度が迅速かつ予測可能に変化します。その結果、プロセス中のウェーハ全体の温度が±0.1℃以内に保たれ、熱管理が容易になります。このランプはクリーンルームでの使用に適しており、クラス1～100の環境でも問題なく動作します。また、粒子の発生もありません。
5,000時間以上にわたって安定した出力が得られ、強度の変動は5％未満です。また、スピードも速く、待機時間を短縮できます。
日常業務においてなぜ重要か ウェーハの乾燥、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、パッケージの硬化処理、クリーニング後の乾燥など、すべて信頼できる熱が必要です。高い均一性により、リソグラフィーの精度が向上し、オーバーレイや重要な寸法の制御がより正確に行えます。迅速で再現性のあるサイクルにより、エネルギー消費を抑えながら装置を稼働させることができます。
粒子の発生がないため、欠陥の数が減少し、パッケージング段階まで歩留まりが維持されます。また、このランプは複数の処方に対しても安定した温度プロファイルを保つため、試験段階から量産段階への移行もスムーズに行えます。
最初に注意すべき点 設置時には、熱の伝達や遮断に十分注意する必要があります。ランプは高温になるため、適切に管理しないと、周囲のポリマーや配線が早く劣化してしまいます。ランプをRTPチャンバーの反射器の形状に合わせ、コントローラーのピロメーターの周波数帯域も一致させる必要があります。そうでないと、振動が発生する可能性があります。
また、電圧やコネクタの仕様を装置の規格に合わせて確認し、クリーンルームでのメンテナンスを計画する必要があります。事前に交換時期を決めておけば、装置の稼働時間を安定させ、再現性を維持できます。