なぜ無鉛セミスタンダード製品には赤外線硬化法が使われるのか MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際、厄介な問題があります。水分や溶剤の一滴も残してはいけないのですが、同時に、わずかな残留物も許されません。また、ワイヤーに過度な熱を加えてはいけません。そうすると、全体が破壊されてしまいます。 だから...

リソグラフィーの工程で、ウェーハは洗浄工程を経て乾燥工程に移ります。もし、どこか一か所でも温度が不安定になると、フォトレジストのパターンが変形してしまいます。そうした事態を防ぐために、私たちはMEMSウェーハ用の乾燥ヒーターを開発しました。この業界では、例外を許されないからです。 内部で重要なのは...