ウェーハツール用温度センサー

ウェーハの温度を推測するのはやめましょう。 スマートなファブを構築するなら、古い接触型の熱電対は使わない方が良いです。もはやそれでは不十分です。ウェーハの温度を測定するには、高速な赤外線センサーを使用します。これにより、基板に触れることなく、リアルタイムで温度情報を取得できます。 デジタルツインが...