ファブラボ用高温炉

フロアレベルでは、フォトレジストのベーク中に1℃の変動があっても「ライン幅のシフト」ではなく、多くのロットが不良になるということです。先端ノードはわずかな温度差で成否が決まるため、炉はその点を厳守しなければなりません。 技術的に重要なポイント ±0.1℃の設定温度からウェハー表面までの均一性を基準...