ファブの現場では、熱的なドリフトは警告灯としては表れません。代わりに、歩留まりの低下や、CD値の不安定化として現れます。Mattson RTPランプは、乾燥処理やフォトレジストの焼成処理を、適切な温度範囲内で行えるように設計されています。 重要なポイント 私たちは、クォーツ製のケースを持つ短波長の...

実際の現場において、熱ドリフトというのは単なる実験室での現象ではありません。それは重大な問題です。RTPを使用する際、ハロゲンランプは、プロセス中に粒子を発生させたり、ばらつきを引き起こしたりすることなく、安定した熱を迅速に供給しなければなりません。 本当に重要なのは何か 私たちは、高純度のハロゲ...