ファブの現場では、熱的なドリフトは警告灯としては表れません。代わりに、歩留まりの低下や、CD値の不安定化として現れます。Mattson RTPランプは、乾燥処理やフォトレジストの焼成処理を、適切な温度範囲内で行えるように設計されています。
重要なポイント 私たちは、クォーツ製のケースを持つ短波長の赤外線ハロゲンランプを使用しています。これにより、迅速かつ再現性の高い安定した状態が実現されます。その結果、ウェーハ全体の温度均一性が±0.1℃以内に保たれ、ソフトベイクとハードベイクのプロファイルも毎回同じになります。また、このランプは数千時間の使用でも出力が安定しており、5,000時間以上使用しても出力の低下は5％未満です。さらに、ランプが動作する際に粒子が発生しないため、クリーンルーム内の粒子数もClass 1～100の基準を満たしています。
リソグラフィーにおける利点 リソグラフィーラインでは、溶剤を効果的に除去するためのソフトベイクと、フォトレジストを正確に硬化させるためのハードベイクが必要です。これらのランプによって、再現性の高い処理が可能になります。また、残留水分を迅速かつ均一に除去するためのウェーハ乾燥処理もサポートされます。その結果、スクラップの削減、再加工の減少、そして効率的な放射熱伝達により、1バッチあたりのエネルギーコストも低減されます。
設置時の注意点 設置自体は簡単ですが、ランプの向きや反射器の位置を正確に調整する必要があります。位置がずれると、局所的な高温域が発生し、ドリフトが起こる可能性があります。また、ベースコネクタや電圧、冷却システムがチャンバーに適合しているかを確認し、定期的に光学検査を行うことが大切です。寿命が近づいているのを早期に発見することで、工程管理の問題を回避できます。