ゴールドコーティングされた赤外線ランプ：厳しい状況下でもウェーハを清潔に保つ
半導体製造工場では、ウェーハが最も重要なものです。わずかな故障だけで、順調に進んでいた生産が台無しになってしまいます。一般的な赤外線ランプは過度な負荷によって破損してしまい、そうなると生産ラインが停止するだけでなく、高価なウェーハに石英の粉が付着してしまいます。私たちは、このような故障を防ぎ、汚染を防ぐためにゴールドコーティングされた赤外線ランプを開発しました。
電力と仕様：長時間連続稼働に対応
これらのランプは、継続的かつ重荷のかかる作業に耐えられるように設計されています。単にワット数だけでなく、集中した熱を発生させることが重要です。
高電圧・高密度出力：400V、2500Wという高い出力を誇ります。これにより、迅速な熱処理が可能になります。しかし、その強力なパワーに伴い、熱も発生します。そのため、ランプの周辺を適切に冷却する必要があります。
コンパクトなサイズで大きな性能：長さ300mm、幅10mmというコンパクトなサイズのため、狭い空間にも容易に設置でき、対象エリアの熱分布を乱すことがありません。
設計に込められた安全性
耐破裂性は単なる偶然ではなく、材料自体に備わっています。
実用的なゴールドコーティング：ゴールドは見栄えのためのものではありません。赤外線エネルギーをフィラメントに戻す役割を果たし、効率を向上させ、外部の石英表面を冷却します。これにより、温度変動時の管への負担が軽減されます。
高純度の石英管とハロゲンフィラメント：高純度の石英とハロゲンサイクルにより、フィラメントが安定して動作します。熱点が発生せず、突然の故障もありません。
R7sコネクタ：このコネクタはシンプルで信頼性が高く、大電流を安定して扱えます。接続部に熱点が発生することはありません。メンテナンス時も簡単に交換できます。
ウェーハに与える影響
生産においては、安定した熱が必要です。私たちのゴールドコーティングされた赤外線ランプは、破裂のリスクなく負荷に耐えられます。たとえフィラメントが壊れても、石英管は無事なので、ウェーハに粒子が付着することはありません。
その結果、チャンバーの清掃にかかる時間が短縮され、破損したウェーハも減少します。これは、既存のランプと同じ機能を持ちながら、標準的なランプでは得られない追加の保護機能を提供します。24時間365日の稼働にも耐え、日々、ウェーハを清潔に保ち続けます。