IRランプが壊れると、全てが台無しになってしまいます。半導体製造の現場では、IRランプの故障は単なる「技術的な不具合」や一時的な停止に過ぎません。それはまさに悪夢です。高負荷の状態で石英製のケースが壊れてしまうと、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに直接降り注ぎます。そうなると、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。大変な混乱が生じ、費用も莫大にかかります。
私たちは、このような事態を防ぐために、特別なセンサーやランプを開発しています。
なぜこれらのランプが壊れるのか？
一般的には、熱ショックや局所的な過熱が原因です。ウェーハを高密度で加熱すると、エネルギーが均一に分布しないことがあります。石英は異なる速度で膨張し、微細なクラックが生じます。そして内部の圧力がそのクラックを拡大させてしまいます。パチッ。
これを防ぐために、高純度の合成石英を使用しています。この素材は熱に強く、温度が急激に変化しても問題ありません。
混乱を防ぐための対策
私たちは、ランプが壊れないことを望むだけでなく、もし壊れた場合に備えています。IRエミッターを高温で化学的に安定したケースで覆っています。これはまるでセーフティネットのようなものです。内側のランプが壊れても、ケースが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハはきれいなままで、ライン全体を洗浄する必要もありません。
また、配線についても注意が必要です。接触不良によって「エンドキャップ」が壊れることがあります。これは、最も一般的な破壊原因です。接触不良によって電気アークが発生し、密封部分が破壊されてしまいます。私たちは、正確に適合するソケットを使用して、アークが発生する前にそれを防ぎます。
真実のトレードオフ
しかし、保護ケースを追加すると、IRの伝送効率が少し低下します。目標温度に到達するのに少し時間がかかります。
でも正直に言って、ラインが完全に停止するのを避けるためには、その代償は払う価値があります。
ただし、電力設定には注意が必要です。効率の低下を補うためにランプの出力を110％に設定したくなりますが、そうしない方が良いです。そうすると、ランプの寿命が短くなり、再び故障する可能性が高くなります。
最善の方法は、コントローラーを使って電流をリアルタイムで監視することです。そうすれば、故障したランプを早めに発見し、災害になる前に交換することができます。