焼成ランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう
処理量の多い工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に生産停止につながるだけでなく、シリコンウェーハの上で石英管が破裂するという恐ろしい事態も起こり得ます。一瞬前までは何も問題なかったのに、次の瞬間には至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、生産効率が急激に低下してしまいます。
私たちは、そうした事態が起こらないように、特別に設計された赤外線焼成ランプを製造しています。
「パチン」という音の対処法
一般的な石英は、急速な電力変動に耐えることができません。電力を急に上げると、石英管が割れてしまいます。
そこで私たちは、高純度の合成石英を使用しています。これはより丈夫で、高い出力にも耐えられます。また、ガラスの厚みにも細心の注意を払っています。ガラスの厚みが不均一だと、熱が局所的に集中してしまい、それが故障の原因となります。厚みを正確に保つことで、熱が均等に分布し、石英管が壊れるのを防ぎます。
ウェーハにガラスの破片が付着しないように
最良のガラスを使っていても、問題が起こることがあります。フィラメントが燃え尽きたり、事故が発生したりします。
そのため、私たちは保護ケースや封止装置を使用しています。もしランプが故障しても、ケースが破片を受け止めてくれるので、ウェーハにガラスの破片が付着することはありません。
エンドキャップやシールにもこだわります
安価なランプは、高温になると不純物が漏れ出す傾向があります。これはクリーンルームにとって大きな問題です。私たちのランプは、しっかりと密封されているので、不純物が漏れ出る心配はありません。
熱に関する注意点
このランプは大量の赤外線エネルギーを放出します。これは迅速な焼成には有効ですが、その分、取り付けブラケットが非常に高温になります。冷却システムが適切でないと、ランプが実際に壊れる前に配線が溶けてしまう可能性があります。
私たちのランプは、24時間365日稼働できるように設計されています。安定した温度管理が可能で、何よりも、1つのランプが故障しても全体の生産が台無しになる心配がありません。