クラス100のクリーンルームを、汚れることなく加熱する方法
クラス100（ISO 5）の環境で作業を行う際、最も避けたいのは、不要な粒子が製品の品質を損なうことです。実際、このような事態は思っている以上に頻繁に起こります。一般的な赤外線ランプを使うと、ランプが熱くなると同時に、安価なコーティングや接着剤が剥がれ落ちてしまいます。その結果、ウェーハ表面にゴミが付着してしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。
私たちは、高純度の合成石英と真空蒸着された金を使用することで、この問題を解決しようとしました。
なぜ金なのか？
金は酸化しないからです。アルミニウムや銀もある程度は使えますが、時間が経つにつれて汚れが溜まり、最終的には剥がれ落ちてしまいます。一方、金はその場所に留まり続けます。
さらに、金は非常に効率的です。赤外線を正確に対象物に向けて反射します。つまり、部品が必要な熱を得られる一方で、機械のフレームが巨大なラジエーターのようになることはありません。
清潔さの維持
チューブは高純度の石英でできているため、金属不純物が生産エリアに混入する心配はありません。また、有機系の接着剤やシーラントも使用していません。すべてが溶接されているか、機械的に固定されているのです。そうすることで、運転温度に達した時でも、化学物質がクリーンな空間に放出されることはありません。
注意すべき点
これらのランプは非常に強力です。金の反射板によって、ほぼすべてのエネルギーが前方に向けられるため、熱が非常に強くなります。そのため、PID制御器を正しく調整して、温度が過剰に上昇しないようにする必要があります。また、冷却ファンが実際にランプの端から熱を取り除いているかを確認してください。そうでなければ、電気コネクタが予想よりも早く破壊されてしまいます。
これらのランプは、半導体や医療機器の生産ラインに直接交換可能な設計になっています。熱を得つつ、環境をきれいに保つことができます。それだけです。