웨이퍼 제조 과정에서는 오차가 용납되지 않습니다. 포토레지스트의 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 열 관리가 매우 중요하며, 단 몇 도만큼의 오차가 생겨도 마이크로유체 채널과 센싱 층의 형상이 제대로 유지되지 않습니다. 적외선 가열 방식도 가능하지만, 램프가 일관된 에너지를 공급해야 합니다.
중요한 것은, 우리는 석영-할로겐 구조를 사용한 단파장 NIR 방출기를 사용합니다. 이를 통해 빠른 열 반응과 안정적인 온도 유지가 가능합니다. 이 시스템은 베이킹 구역 전체에서 웨이퍼의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지하여, 모든 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정이 정확하게 이루어집니다.
클린룸 클래스 1–100과의 호환성도 고려되어 있습니다. 밀폐된 케이스, 가스 발생이 적은 재료, 그리고 입자 수를 조절하는 공기 흐름 덕분에 장시간 베이킹 과정에서도 입자 수가 증가하지 않습니다. 또한, 5,000시간 이상 사용해도 오차는 5% 미만으로 유지됩니다.
이러한 장점들 덕분에 생체센서 웨이퍼 제작에 적합합니다. 얇은 필름과 포토레지스트층을 적층할 때, 열에 대한 정보가 그대로 남아 있습니다. 이 램프를 사용하면 목표 온도에 더 빨리 도달하고, 온도를 보다 균일하게 유지할 수 있습니다. 또한, 과도한 베이킹이나 부족한 베이킹으로 인한 문제도 줄어듭니다. 그 결과, 더 높은 정밀도와 적은 결함, 그리고 일관된 치수가 확보됩니다.
또한, 램프는 필요할 때만 가열되고 빠르게 식기 때문에 에너지 절약도 가능합니다. 이를 통해 비효율적인 작동을 줄이고 생산 속도를 높일 수 있습니다.
실제 사용 시에는, 램프를 표준 반도체 열 처리 모듈에 통합해야 합니다. 하지만 장착 인터페이스와 챔버의 열 질량이 사용 환경에 맞아야 합니다. 설정된 온도에 도달하기까지 약간의 시간이 걸리므로, 특정 웨이퍼에 맞는 방사율과 설정값을 확인하기 위한 교정 과정이 필요합니다.
높은 습도 환경에서는 램프 주변의 응결 현상을 방지해야 합니다. 그렇지 않으면 오차가 발생할 수 있습니다.